日本watty燃?xì)饧訜崞鞯膬?yōu)勢
用于半導(dǎo)體/FPD制造的超高純度氣體供應(yīng)/
加熱
各種分析儀的超高純氣體供應(yīng)/加熱
非常適合為熱處理爐供應(yīng)氣氛氣體
S型流量10L,L型流量100L,
工作溫度300℃
靈活的 | 飛機 | 真空兼容 |
× | × | × |
管道/容器 | 金屬 | 液體 | 氣體 |
○ ○ | × | × | ○ ○ |
1. S/M/L型采用EP配管結(jié)構(gòu)。
?接頭、配管等氣體接觸部全部采用不銹鋼(SUS316L)材質(zhì)。
- 加熱后的氣體在不接觸加熱器表面的情況下被加熱。當(dāng)它在干凈的管道中傳輸時被加熱。
2.
擁有最小流量10L/min~最大100L/min、最大操作量的小型、輕量、高效、各尺寸的最佳規(guī)格的產(chǎn)品陣容溫度300°C。
3. 標(biāo)配熱電偶和恒溫器
?溫度控制和防止過熱也是標(biāo)配。接線也很容易。
4, 入口/出口接頭可以更換
?標(biāo)準(zhǔn)接頭為 UJR 1/4 內(nèi)螺紋尺寸。
? 支持從 1/4 到 1/2 大小的入口/出口尺寸。
類型 | S型 | M型 | L型 | ||
---|---|---|---|---|---|
WEX-S * -2 * | WEX-S * -3 * | WEX-M * -2 * | WEX-M * -3 * | WEX-L * -3 * | |
可加熱流體 | 惰性氣體 | ||||
最高工作溫度 | 200℃ | 300℃ | 200℃ | 300℃ | 300℃ |
額定流量 | ~ 10L/分鐘 | ~ 50L/分鐘 | ~ 100L/分鐘 | ||
額定容量 | 130W | 190W | 400W | 560W | 1300W |
最大工作壓力 | 0.5Mpa | ||||
標(biāo)準(zhǔn)配件 | UJR"1/4 女 | UJR"3/8 女 | |||
氣體接觸材料 | SUS316L(WEP規(guī)格) | ||||
泄漏率 | 1 x 10 10 Pa·m3/sec以下 | ||||
電源供應(yīng) | AC100 或 AC200 | ||||
熱電偶 | K型2級 | ||||
恒溫器 | 光盤類型 | 塊類型 | 光盤類型 | 塊類型 | 塊類型 |
機身外形尺寸(高 x 寬 x 深) | 75 × 75 × 98 | 96 x 102 x 128 | 125.5 x 100 x 115 | 155.5 x 130 x 145 | 178 x 150 x 165 |
體重 | 約1公斤 | 約1.2kg | 約2kg | 約2.3kg | 約4kg |
接線方式 | 連接器拆卸 | 引線 2m | 連接器拆卸 | 引線 2m | 連接器拆卸 |
標(biāo)準(zhǔn)配件 | * 1 | ※四 | * 2 | ※五 | * 3 |
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