日本標(biāo)準(zhǔn)在線式薄膜測(cè)厚儀的檢測(cè)方法及標(biāo)準(zhǔn)

日本標(biāo)準(zhǔn)在線式薄膜測(cè)厚儀的檢測(cè)方法及標(biāo)準(zhǔn)

隨著科技的進(jìn)步和精密儀器的應(yīng)用，薄膜厚度的測(cè)量方法有很多，按照測(cè)量的方式分可以分為兩類：直接測(cè)量和間接測(cè)量。直接測(cè)量指應(yīng)用測(cè)量?jī)x器，通過接觸（或光接觸）直接感應(yīng)出薄膜的厚度，常見的直接法測(cè)量有：螺旋測(cè)微法、精密輪廓掃描法（臺(tái)階法）、掃描電子顯微法（SEM）；間接測(cè)量指根據(jù)一定對(duì)應(yīng)的物理關(guān)系，將相關(guān)的物理量經(jīng)過計(jì)算轉(zhuǎn)化為薄膜的厚度，從而達(dá)到測(cè)量薄膜厚度的目的。常見的間接法測(cè)量有：稱量法、電容法、電阻法、等厚干涉法、變角干涉法、橢圓偏振法。按照測(cè)量的原理可分為三類：稱量法、電學(xué)法、光學(xué)法。常見的稱量法有：天平法、石英法、原子數(shù)測(cè)定法；常見的電學(xué)法有：電阻法、電容法、渦流法；常見的光學(xué)方法有：等厚干涉法、變角干涉法、光吸收法、橢圓偏振法。

薄膜測(cè)試儀連續(xù)測(cè)厚機(jī)FT-A200 / FT-A200R