技術(shù)文章
適用于大學(xué)基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)的立式實(shí)驗(yàn)反應(yīng)釜設(shè)備介紹
適用于大學(xué)基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)的立式實(shí)驗(yàn)反應(yīng)釜設(shè)備介紹
TVF-110
立式實(shí)驗(yàn)反應(yīng)釜 最高1200°C
低成本 低要求配置（手動(dòng)控制） 可用作管式爐、擴(kuò)散爐和熱 CVD
| 罐式加熱器 | 最高1200°C |
|---|
適用于從小樣品到3英寸晶圓的小基板 基座 手動(dòng)升降式立式實(shí)驗(yàn)爐用于基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)的低成本立式爐 非常適合大學(xué)和企業(yè)實(shí)驗(yàn)室的基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)。
特征
用戶友好，易于手動(dòng)操作
配置簡單，是基本實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用的理想選擇
可以以低成本和低的必要規(guī)格提出設(shè)備
我們可以根據(jù)要求定制。
設(shè)備配置
爐體（石英部件，如基座、舟、緩沖器等，包括垂直升降機(jī)構(gòu)）
熱電偶
溫度控制單元
支架
原理圖規(guī)格
| 【電爐部分】 | 規(guī)范 |
|---|---|
| 最高工作溫度 | MAX1200°C （*加熱器最高溫度） 電路板溫度 950°C |
| 加熱器 | 罐式加熱器1區(qū)式1.5KW |
| 爐體 | 陶瓷成型品 Φ290 x 300L（分成兩半） |
| 箱 | 帶開合功能的鋁制外殼 |
| 熱電偶 | 2對(duì)K型護(hù)套熱電偶，用于控制和超溫檢測 |
| 溫度測量熱電偶 | Φ0.65mm K帶線型絕緣管1500L |
| 溫度控制 | PID溫度控制器晶閘管控制 |
| 【爐芯管及石英夾具部】 | 規(guī)范 |
|---|---|
| 爐芯管 | Φ100 x Φ95 x 470L |
| 緩沖區(qū) | 234H x Φ86 屏蔽板 x 2 層 |
| 基座 | Φ86 x t5mm （帶上下桿） x 2-3級(jí) |
| 熱電偶保護(hù)管 | Φ8 x Φ6 x 660L mm |
| 【基座底座法蘭上下升降部分】 | 規(guī)范 |
|---|---|
| 驅(qū)動(dòng)系統(tǒng) | 手動(dòng)（旋轉(zhuǎn)手柄） |
| 中風(fēng) | MAX300mm （基座） MAX500mm （基座法蘭）， 帶停止位置刻度，帶可選垂直停止位置鉗位鉗位器 |
產(chǎn)品目錄
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