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產(chǎn)品資料
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日本芝浦機(jī)電shibaura多離子真空計(jì)GMi系列

產(chǎn)品名稱: 日本芝浦機(jī)電shibaura多離子真空計(jì)GMi系列
產(chǎn)品型號(hào):
產(chǎn)品特點(diǎn): 日本芝浦機(jī)電shibaura多離子真空計(jì)GMi系列
該產(chǎn)品是一種換能器型多離子規(guī),可以連接具有不同測(cè)量范圍的測(cè)頭。
在將常規(guī)方法的多種原理結(jié)合到一個(gè)外殼中的復(fù)雜真空計(jì)中,“由于一個(gè)探針的故障,必須*更換一個(gè)探針"“探針復(fù)雜且容易發(fā)生故障"我們經(jīng)常聽到客戶說(shuō)“很貴"。
使用這種方法,可以進(jìn)行寬帶測(cè)量,大大降低了運(yùn)行成本,并支持低環(huán)境負(fù)荷。

日本芝浦機(jī)電shibaura多離子真空計(jì)GMi系列 的詳細(xì)介紹

日本芝浦機(jī)電shibaura多離子真空計(jì)GMi系列

日本芝浦機(jī)電shibaura多離子真空計(jì)GMi系列


該產(chǎn)品是一種換能器型多離子規(guī),可以連接具有不同測(cè)量范圍的測(cè)頭。
在將常規(guī)方法的多種原理結(jié)合到一個(gè)外殼中的復(fù)雜真空計(jì)中,“由于一個(gè)探針的故障,必須*更換一個(gè)探針"“探針復(fù)雜且容易發(fā)生故障"我們經(jīng)常聽到客戶說(shuō)“很貴"。
使用這種方法,可以進(jìn)行寬帶測(cè)量,大大降低了運(yùn)行成本,并支持低環(huán)境負(fù)荷。


GMi系列的特點(diǎn)

  • 廣域測(cè)量可以測(cè)量
    從大氣壓到高真空區(qū)域(10 5至5×10 -8 Pa)(當(dāng)同時(shí)使用GPM和GAM時(shí))。

  • 可以連接不同測(cè)量范圍的探頭,使用
    多離子規(guī)可以根據(jù)應(yīng)用選擇探頭。

  • 準(zhǔn)確的大氣壓測(cè)量
    輕松,準(zhǔn)確地確認(rèn)大氣壓(使用GAM時(shí))

  • 支持低環(huán)境負(fù)荷由于
    僅在必要時(shí)可以更換接觸點(diǎn),因此可以降低運(yùn)行成本。


  • 配備能檢查異常的LED 的能見度得到改善


  • 易于維護(hù)更換探頭

  • 每種模式(組合模式)的
    規(guī)格GMi + GPM(離子計(jì)+皮拉尼表)
    GMi + GPM + GAM(離子計(jì)+皮拉尼表+大氣壓傳感器)

  • 測(cè)量值輸出信號(hào)
    壓力為0-10V輸出(對(duì)數(shù)輸出)

  • 控制輸出信號(hào)
    設(shè)定值3點(diǎn)可輸出(GMi-1)

  • 可以進(jìn)行串行通訊規(guī)格
    RS232C / RS485通訊(GMi-2)

  • 符合
    CE標(biāo)準(zhǔn)

用途

  • 用于各種制造設(shè)備(例如太陽(yáng)能電池,F(xiàn)PD,半導(dǎo)體和電子零件)的高真空區(qū)域中的過(guò)程控制

  • 確認(rèn)具有在線式和單晶圓式等多個(gè)處理室的各種制造設(shè)備的高真空區(qū)域的極限壓力

  • 高真空/超高真空設(shè)備壓力測(cè)量

日本芝浦機(jī)電shibaura多離子真空計(jì)GMi系列

規(guī)范

模型GMi-1GMi-2
規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格串行通訊規(guī)格
自適應(yīng)多離子量規(guī)傳感器M34(NW16),M35(NW25)
可連接的傳感器多離子壓力表傳感器:1個(gè)
皮拉尼壓力表GPM:1個(gè)(可選)
大氣壓傳感器GAM:1個(gè)(可選)
采樣時(shí)間70毫秒4倍移動(dòng)平均處理
測(cè)量值輸出輸出電壓DC 0至10 V,對(duì)數(shù)輸出0.75 V / 1位
壓力轉(zhuǎn)換公式V = 7.25 + 0.75×(Log P-2)P = 10 ^ {(V-7.25)/ 0.75 + 2}
*用于設(shè)定點(diǎn)調(diào)整也用作輸出電源(僅適用于GMi-1)
更新時(shí)間50毫秒
控制輸入信號(hào)FIL ON / OFF,F(xiàn)IL 1/2,DEGAS ON / OFF以
集電極開路輸入,負(fù)邏輯運(yùn)行

* FIL ON / OFF信號(hào)的用法因模式而異。

--
控制輸出信號(hào)傳感器錯(cuò)誤,設(shè)定點(diǎn)1/2/3
發(fā)射有效
燈絲功率監(jiān)控
額定值:24 VMAX,50 mAMAX,
飽和電壓1 V
--
串行通訊規(guī)格--RS232C / RS485
LED顯示屏電源/錯(cuò)誤:電源和錯(cuò)誤指示燈(閃爍狀態(tài)根據(jù)每種模式而變化)
FIL:發(fā)射有效的指示燈
SET1:設(shè)定點(diǎn)1 LED
SET2:
設(shè)定點(diǎn)2 LED SET3:設(shè)定點(diǎn)3 LED
--
發(fā)射電流1 mA(1×10 -3 Pa以下),10 µA
德加斯電子沖擊解吸方法(電子轟擊)1 mA,330 V
傳感器耐壓2 x 10 5 Pa(壓力)*法蘭和夾具等的耐壓性必須分開考慮。
傳感器內(nèi)部容積34厘米3(M34)
工作溫度極限10?50℃
工作濕度范圍15-80%(但是,無(wú)凝結(jié))
貯存溫度-20至65°C(斷電時(shí)無(wú)結(jié)露)
IP防護(hù)等級(jí)IP30
電源電壓20至28 VDC(紋波,噪聲1%或更低)19 W或更低(電源打開時(shí)為156 W)
I / O連接器D-sub15針(M2.6螺絲)
大眾控制器:約530 g,BA探針(M34):63 g
外形尺寸W xD x H(mm)144 x 75 x 62以下(控制器部分)
符合標(biāo)準(zhǔn)CE認(rèn)證
選項(xiàng)電源/錯(cuò)誤:多離子計(jì)傳感器M34(NW16),M35(NW25)
材質(zhì):長(zhǎng)絲1 lr / Y 2 O 3涂層,長(zhǎng)絲2 W(鎢)
其他Pt C Mo,SUS,W
皮拉尼規(guī)SPU
皮拉尼儀表傳感器WP-16(NW16)
材質(zhì):細(xì)絲鉑,其他BS / Ni,鍍層,Ni,焊料
大氣壓傳感器GAM(NW16)材質(zhì):SUS316L
單元電纜GPM為0.5毫米
GAM為0.5毫米
顯示單位1 CH:ISG1型(使用DC 24 V電源)
4 CH:IM1R1型(使用DC 24 V電源)
           IM2R1型(使用AC 100 V電源)
顯示電纜GMi和顯示單元之間的電纜
2 m,5 m,10 m,15 m

每種模式的規(guī)格

GMi-1 / GMi-2可以從三種使用類型中選擇:?jiǎn)蝹€(gè)多離子壓力計(jì)模式,帶皮拉尼壓力計(jì)的組合模式以及帶皮拉尼壓力計(jì)和大氣壓傳感器的三重組合模式。

模式GMi-1 / GMi-2
獨(dú)立模式
GMi-1 / GMi-2 + GPM
組合模式
GMi-1 / GMi-2 + GPM + GAM
組合模式
測(cè)量壓力范圍5×10 -8?1 ×10 15×10 -8?1 ×10 45×10 -8?1 ×10 5
測(cè)量精度5×10 -8?1 ×10 1 Pa±15%5×10 -8至1×10 3 Pa:±15%
1×10 3至3.0×10 3 Pa:±30%
3.0×10 3至1.0×10 4 Pa:不保證精度
5×10 -8至1×10 3 Pa:±15%
1×10 3至3.0×10 3 Pa:±30%
3.0×10 3 至1.0×10 4 Pa:無(wú)精度保證
1.0×10 4至1.0× 10 5 Pa:±3%FS
(3×10 3 Pa,參考溫度25°C)
重復(fù)性1 x 10 -6至1 x 10 -1 Pa:Pa±2%


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