產(chǎn)品資料
日本shibaura多離子規(guī)真空計 GMi系列
產(chǎn)品名稱: 日本shibaura多離子規(guī)真空計 GMi系列
產(chǎn)品型號:
產(chǎn)品特點: 日本shibaura多離子規(guī)真空計 GMi系列本產(chǎn)品是一種換能器型多離子量規(guī)，可以連接不同量程的測針。在將常規(guī)方法的多種原理結(jié)合到一個外殼中的復(fù)雜真空計中，“由于一個探針的故障，必須*更換一個探針"“探針復(fù)雜且容易發(fā)生故障"我們經(jīng)常聽到客戶說“很貴"。使用這種方法，可以進行寬帶測量，大大降低了運行成本，并支持低環(huán)境負荷。
日本shibaura多離子規(guī)真空計 GMi系列 的詳細介紹
日本shibaura多離子規(guī)真空計 GMi系列
GMi系列的特點
- 廣域測量可以測量
從大氣壓到高真空區(qū)域（10 5至5×10 -8 Pa）（當(dāng)同時使用GPM和GAM時）。 - 可以連接不同量程的探頭，使用
多離子規(guī)可以根據(jù)應(yīng)用選擇探頭。 - 準(zhǔn)確的大氣壓測量
輕松，準(zhǔn)確地確認大氣壓（使用GAM時） - 低環(huán)境負荷
可以降低運行成本，因為只有在需要時才可以更換觸點。
配備能檢查異常情況的LED，提高了可見度
易于維護可更換探頭- 每種模式（組合模式）的
規(guī)格GMi + GPM（離子計+皮拉尼表）
GMi + GPM + GAM（離子計+皮拉尼表+大氣壓傳感器） - 測量值輸出信號
壓力為0-10V輸出（對數(shù)輸出） - 控制輸出信號
設(shè)定值3點可輸出（GMi-1） - 可以進行串行通訊規(guī)格
RS232C / RS485通訊（GMi-2） - 符合
CE標(biāo)準(zhǔn)
用
- 用于各種制造設(shè)備（例如太陽能電池，F(xiàn)PD，半導(dǎo)體和電子零件）的高真空區(qū)域中的過程控制
- 在具有多個處理腔室的各種制造設(shè)備的高真空區(qū)域（例如在線型和單晶圓型）中確定極限壓力
- 高真空/超高真空設(shè)備的壓力測量
規(guī)范
| 模型 | GMi-1 | GMi-2 | |
|---|---|---|---|
| 規(guī)范 | 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格 | 串行通訊規(guī)格 | |
| 自適應(yīng)多離子量規(guī)傳感器 | M34（NW16），M35（NW25） | ||
| 可連接的 | 傳感器多離子壓力計傳感器：1個 皮拉尼壓力計GPM：1個（可選） 大氣壓傳感器GAM：1個（可選） | ||
| 采樣時間 | 70毫秒4倍移動平均處理 | ||
| 測量值輸出 | 輸出電壓DC 0至10 V，對數(shù)輸出0.75 V / 1位 壓力轉(zhuǎn)換公式V = 7.25 + 0.75×（Log P-2）P = 10 ^ {（V-7.25）/ 0.75 + 2} *用于設(shè)定點調(diào)整也用作輸出電源（僅適用于GMi-1） | ||
| 更新時間 | 50毫秒 | ||
| 控制輸入??信號 | FIL ON / OFF，F(xiàn)IL 1/2，DEGAS ON / OFF以 集電極開路輸入，負邏輯運行 * FIL ON / OFF信號的使用取決于模式。 | -- | |
| 控制輸出信號 | 傳感器錯誤，設(shè)定點1/2/3 發(fā)射有效 燈絲功率監(jiān)控 額定值：24 VMAX，50 mAMAX， 飽和電壓1 V | -- | |
| 串行通訊規(guī)格 | -- | RS232C / RS485 | |
| LED顯示屏 | 電源/錯誤：電源和錯誤指示燈（閃爍狀態(tài)根據(jù)每種模式而變化） FIL：發(fā)射有效的指示燈 | ||
| SET1：設(shè)定點1 LED SET2： 設(shè)定點2 LED SET3：設(shè)定點3 LED | -- | ||
| 發(fā)射電流 | 1 mA（1×10 -3 Pa或更小），10 µA | ||
| 德加斯 | 電子沖擊解吸方法（電子轟擊）1 mA，330 V | ||
| 傳感器耐壓 | 2 x 10 5 Pa（壓力）*法蘭和夾具的耐壓力必須分開考慮 | ||
| 傳感器內(nèi)部容積 | 34厘米3（M34） | ||
| 工作溫度極限 | 10?50℃ | ||
| 工作濕度范圍 | 15-80％（但是，無凝結(jié)） | ||
| 貯存溫度 | -20至65°C（斷電時不結(jié)露） | ||
| IP防護等級 | IP30 | ||
| 電源電壓 | 20至28 V DC（紋波，噪聲1％或更低）19 W或更低（電源打開時為156 W） | ||
| I / O連接器 | D-sub15針（M2.6螺絲） | ||
| 大眾 | 控制器：約530 g，BA探針（M34）：63 g | ||
| 外形尺寸W xD x H（mm） | 144 x 75 x 62以下（控制器部分） | ||
| 符合標(biāo)準(zhǔn) | CE認證 | ||
| 選項 | 電源/錯誤：多離子計傳感器 | M34（NW16），M35（NW25） 材質(zhì)：長絲1 lr / Y 2 O 3涂層，長絲2 W（鎢） 其他Pt C Mo，SUS，W | |
| 皮拉尼規(guī) | SPU | ||
| 皮拉尼儀表傳感器 | WP-16（NW16） 材料：細絲鉑，其他BS / Ni，電鍍，鎳，焊料 | ||
| 大氣壓傳感器 | GAM（NW16）材質(zhì)：SUS316L | ||
| 單元電纜 | GPM為0.5毫米 GAM為0.5毫米 | ||
| 顯示單位 | 1 CH：ISG1型（使用DC 24 V電源） 4 CH：IM1R1型（使用DC 24 V電源） IM2R1型（使用AC 100 V電源） | ||
| 顯示電纜 | GMi和顯示單元之間的電纜 2 m，5 m，10 m，15 m | ||
每種模式的規(guī)格
GMi-1 / GMi-2可以從三種用途中選擇：多離子壓力計單模，帶皮拉尼壓力計的組合模式以及帶皮拉尼壓力計和大氣壓傳感器的三重組合模式。
| 模式 | GMi-1 / GMi-2 獨立模式 | GMi-1 / GMi-2 + GPM コンビネーションモード | GMi-1 / GMi-2 + GPM + GAM コンビネーションモード |
|---|---|---|---|
| 測定圧力範(fàn)囲 | 5 × 10-8 ～ 1 × 101 Pa | 5 × 10-8 ～ 1 × 104 Pa | 5 × 10-8 ～ 1 × 105 Pa |
| 測定精度 | 5 × 10-8 ～ 1 × 101 Pa± 15 % | 5 × 10-8 ～ 1 × 103 Pa：± 15 % 1 × 103 ～ 3.0 × 103 Pa：± 30 % 3.0 × 103 ～ 1.0 × 104Pa：精度保証なし | 5×10 -8至1×10 3 Pa：±15％ 1×10 3至3.0×10 3 Pa：±30％ 3.0×10 3 至1.0×10 4 Pa：無精度保證 1.0×10 4至1.0× 10 5 Pa：±3％FS （3×10 3 Pa，參考溫度25°C） |
| 重復(fù)性 | 1 x 10 -6至1 x 10 -1 Pa：Pa±2％ | ||
| 接線圖（示例） |  |  |  |
尺寸圖
單位：毫米
*規(guī)格或建議零售價如有變更，恕不另行通知。
日本shibaura多離子規(guī)真空計 GMi系列
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